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共焦激光扫描显微镜(附光电成像检测功能)
发布时间:2014-3-13 14:32:09  点击率:766
1.工作原理
 
激光扫描显微镜是建立在光学显微镜及各种扫描显微镜基础上的一种新型的扫描成象系统。利用聚焦的激光束在样品表面扫描,同时利用光电检测器件接收样品反射光(或透射光),样品结构的变化使反射光(或透射光)强度改变,因而使光电检测器的输出电流改变,经信号处理,同步显示在计算机屏幕上。
由于照射在样品的是聚焦的激光束,具有很小的直径,因此没有来自邻近区域的散射光的影响,从而可以提高信噪比,即增强了对比度。同时由于激光扫描显微镜是直接接收反射光(或透射光),因此检测灵敏度高,且检测系统比较简单。
本仪器采用共焦方法,还可以在光束能透入的范围内实现深度剖面的分层成象,因此成为研究薄膜材料、集成电路及生物组织乃至细胞等的微细结构及其深度剖面的非常有效的工具。
对半导体器件,由于光电效应,可通过适当负载直接接收光电流,将光电信号通过成象处理,即可得到光电成象。
 
2、主要性能指标
 
1.        横向分辨率:优于0.4μm
2.        最大扫描范围:2mm×2mm
3.        深度分析:分辨率优于0.1μm(在激光束透入的深度范围内)
4.        图象灰度等级:黑白   256等级;  伪彩色 32×8种彩色
5.        具有图象对比度增强,对比度反转等多种图象处理功能
 
3。主要应用范围:
 
  对所有固体物质(包括生物医学器官、组织和细胞等)进行高空间分辨率成象分析研究:
1. 进行形貌(高度分布)进行分层成象; 在光透入的范围内进行分层成象; 可对集成电路等半导体器件的工作状况进行在线分析和研究。

本设备曾用于集成电路的形貌和工作电流分布的分层成象检测。